SECS/GEM
半導體設(shè)備軟件平臺SEPlat
基于SEMI工廠自動化相關(guān)標準的軟件中間件,實現(xiàn)設(shè)備與工廠EAP系統(tǒng)的通信連接、狀態(tài)監(jiān)控以及生產(chǎn)業(yè)務交互等標準功能,同時,可根據(jù)需要進行消息自定義擴展;基于EDA標準中間件,實現(xiàn)設(shè)備數(shù)據(jù)采集功能。

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